| 题名 | 直线型微磁马达的研制 |
| 作者 | 季文迪 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1992-09-01 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 武蕴忠 王渭源 |
| 关键词 | 微型电磁马达 设计 直线型微磁马达 工艺制作 |
| 学位专业 | 半导体物理与半导体器件物理 |
| 中文摘要 | 该文分析了国外同行所研制的微型电磁马达,从中总结出了一些制作微型电磁马达的基本原则,并以此为依据设计出了直线型微磁马达.解决了工艺制作中的一些难点. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 63 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/84362]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 季文迪. 直线型微磁马达的研制[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 1992. |
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