双面柔性神经微电极制作方法的研究

	双面柔性神经微电极制作方法的研究
	周洪波 ; 李刚 ; 赵建龙
	2007
会议名称	第四届全国微全分析系统学术会议
会议日期	2007
关键词	双面柔性微电极制作方法聚酰亚胺局部键合神经微电极电学性能
中文摘要	为了减小植入损伤，提高神经微电极刺激或记录的空间密度，本文提出了一种基于聚合物基质材料的植入式双面柔性神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)作为微电极的基底材料，并通过一种基于应力集中的凹槽结构设计和电化学释放方法结合局部键合工艺实现了双面电极的制作。微电极的SEM和电学性能测试结果表明，微电极的结构形貌和电学性能满足植入式电极的要求。
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6580511.aspx
会议录	第四届全国微全分析系统学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55518]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	周洪波,李刚,赵建龙. 双面柔性神经微电极制作方法的研究[C]. 见:第四届全国微全分析系统学术会议. 2007.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6580511.aspx.