| 基于电化学沉积的金属基微射频T形功分器研制 | |
| 杜立群; 齐磊杰; 朱和卿; 赵雯; 阮久福 | |
| 刊名 | 电加工与模具
 |
| 2018 | |
| 页码 | 26-30,44 |
| 关键词 | T形功分器 AZ 50XT厚胶 分次曝光 微电铸铜 |
| ISSN号 | 1009-279X |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3262628 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116024 2.大连理工大学,辽宁省微纳米及系统重点实验室,辽宁大连 116024 3.大连理工大学,辽宁省微纳米及系统重点实验室,辽宁大连 116024 4.合肥工业大学光电技术研究院,安徽合肥 230009 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜立群,齐磊杰,朱和卿,等. 基于电化学沉积的金属基微射频T形功分器研制[J]. 电加工与模具,2018:26-30,44. |
| APA | 杜立群,齐磊杰,朱和卿,赵雯,&阮久福.(2018).基于电化学沉积的金属基微射频T形功分器研制.电加工与模具,26-30,44. |
| MLA | 杜立群,et al."基于电化学沉积的金属基微射频T形功分器研制".电加工与模具 (2018):26-30,44. |
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