| 单晶硅反射镜的超精密磨削工艺 | |
| 王紫光; 康仁科; 周平; 高尚; 董志刚 | |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 2019 | |
| 卷号 | 27页码:1087-1095 |
| 关键词 | 单晶硅反射镜 工件旋转法磨削 表面/亚表面损伤 面形控制 超细粒度金刚石砂轮 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3230411 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 ,辽宁大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王紫光,康仁科,周平,等. 单晶硅反射镜的超精密磨削工艺[J]. 光学精密工程,2019,27:1087-1095. |
| APA | 王紫光,康仁科,周平,高尚,&董志刚.(2019).单晶硅反射镜的超精密磨削工艺.光学精密工程,27,1087-1095. |
| MLA | 王紫光,et al."单晶硅反射镜的超精密磨削工艺".光学精密工程 27(2019):1087-1095. |
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