| 基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究 | |
| 杜立群; 赵文君; 翟科; 杜成权; 魏壮壮; 姬学超 | |
| 刊名 | 电加工与模具
 |
| 2019 | |
| 页码 | 44-48,68 |
| 关键词 | 纳米压痕法 兆声辅助电铸 微电铸器件 |
| ISSN号 | 1009-279X |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3226818 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116024 2.大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室,辽宁大连 116024 3.大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室,辽宁大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜立群,赵文君,翟科,等. 基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究[J]. 电加工与模具,2019:44-48,68. |
| APA | 杜立群,赵文君,翟科,杜成权,魏壮壮,&姬学超.(2019).基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究.电加工与模具,44-48,68. |
| MLA | 杜立群,et al."基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究".电加工与模具 (2019):44-48,68. |
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