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	纳米集成电路关键技术及应用
	徐秋霞; 王敬; 叶甜春; 朱慧珑; 赵超; 张卫
	2016
文献子类	中国电子学会科学技术奖技术发明奖
奖励等级	一等奖
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://159.226.55.106/handle/172511/18485]
专题	微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	徐秋霞,王敬,叶甜春,等. 纳米集成电路关键技术及应用. . 2016.

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