基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作

	基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作
	焦磊涛; 欧文; 蒋文静
刊名	微纳电子技术
	2018-07-01
文献子类	期刊论文
英文摘要	传统透射电子显微镜(TEM)观察液态样品特征时,通常将其先速冻成固态,而原位TEM可以动态地观察液态样品的变化,避免了一些额外因素的影响.设计了一款基于微机电系统(MEMS)技术的非流动原位液体TEM芯片,用于对液态样品结构动态变化的实时观测.采用低压化学气相沉积(LPCVD)法制备50 nm厚的低应力氮化硅薄膜作为芯片的电子束透射窗的材料,并在窗口层上面制作金属网格来加固其承载能力,采用MEMS技术完成了芯片的制造.实验结果表明,TEM芯片在相应的TEM样品杆的辅助下,成功实现了对铜纳米粒子生长过程中形态变化的实时观测.
内容类型	期刊论文
源URL	[http://159.226.55.107/handle/172511/19051]
专题	微电子研究所_系统封装与集成研发中心
推荐引用方式 GB/T 7714	焦磊涛,欧文,蒋文静. 基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作[J]. 微纳电子技术,2018.
APA	焦磊涛,欧文,&蒋文静.(2018).基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作.微纳电子技术.
MLA	焦磊涛,et al."基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作".微纳电子技术 (2018).