基于导波共振的传感器及传感器测试系统

	基于导波共振的传感器及传感器测试系统
	史丽娜; 谢常青; 牛洁斌; 李海亮; 刘明
	2018-04-20
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201510413211.2
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种基于导波共振的传感器及传感器测试系统。该传感器包括：衬底；形成于该衬底上的自支撑薄膜结构；以及形成于该自支撑薄膜结构中的球形空气孔阵列，用于承载待测样品，利用该球形空气孔阵列中的导波共振来探测该待测样品的折射率变化。本发明传感器采用周期纳米结构，体积小，易于携带。
公开日期	2015-11-11
申请日期	2012-02-07
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://159.226.55.107/handle/172511/18621]
专题	微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	史丽娜,谢常青,牛洁斌,等. 基于导波共振的传感器及传感器测试系统. CN201510413211.2. 2018-04-20.