LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进

	LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进
	王文博; 王晓慧; 黄苒; 欧毅; 杜寰; 夏洋; 韩郑生; 冯亚云; 凌志华
刊名	液晶与显示
	2008
卷号	23 期号:5 页码:4，629-632
关键词	Lcos 微显示 Cmp 镜面电极
ISSN号	1007-2780
英文摘要	介绍了LCoS技术的特点与发展现状，LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系，着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进。通过严格控制工艺步骤，降低台阶高度；合理设计版图布局，使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中，这样既能实现像素电极区域的局部平坦化，又因为沟槽不作为显示区域，对整体显示效果影响较小。
语种	中文
公开日期	2010-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/1818]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王文博,王晓慧,黄苒,等. LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进[J]. 液晶与显示,2008,23(5):4，629-632.
APA	王文博.,王晓慧.,黄苒.,欧毅.,杜寰.,...&凌志华.(2008).LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进.液晶与显示,23(5),4，629-632.
MLA	王文博,et al."LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进".液晶与显示 23.5(2008):4，629-632.