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	纳米力学实验表征新技术—扫描探针声学显微术
	李法新 ; 周锡龙
	2012
关键词	扫描探针显微术 纳米压痕 接触共振
英文摘要	扫描探针声学显微术(Atomic Force Acoustic Microscopy,AFAM)是国外90年代中期发展起来的基于AFM微悬臂梁振动的一种纳米力学表征方法。它有两种模式,一种是定性模式,能分辨出材料由于弹性模量不同而形成的微结构,但不能测量模量,这种模式国内上海硅酸盐研究所也于2005年左右开发出来;另外一种模式是定量模式,即模量成像功能,最早由德国萨尔布吕肯无损检测研究所于2002年左右开发出来,而后美国国家标准所(NIST)于2005年也实现了该功能。然而,上述AFAM模量成像的最大问题是成像速度很慢,扫一幅256*256的图至少需要30分钟左右。本文我们主要介绍扫描探针声学...; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/14502]
专题	工学院
推荐引用方式 GB/T 7714	李法新,周锡龙. 纳米力学实验表征新技术—扫描探针声学显微术. 2012-01-01.

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