| 静电力驱动的高速AFM纳米刻蚀技术的机理研究与应用 | |
| 孙昊 ; 丁磊 ; 褚海斌 ; 李彦 | |
| 2008 | |
| 关键词 | AFM KFM DPN |
| 英文摘要 | 蘸笔纳米刻蚀(Dip-Pen Nanolithography,DPN)技术是一种基于原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的表面纳米结构制备技术,然而其制备速度一直是制约该技术发展的瓶颈。我们利用AFM针尖在基底表面快速移动时由于摩擦产生的静电力作为驱动力,; 0 |
| 语种 | 中文 |
| 出处 | 知网 |
| 内容类型 | 其他 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/20.500.11897/79337]  |
| 专题 | 化学与分子工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙昊,丁磊,褚海斌,等. 静电力驱动的高速AFM纳米刻蚀技术的机理研究与应用. 2008-01-01. |
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