特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调

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	特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调
	武中华 1,2,3; 袁吕军 1,2; 朱永田 1,2; 何丽 1,2
刊名	应用光学
	2017-07
卷号	38 期号:4 页码:639-643
关键词	光学检测离轴非球面零位补偿器镜筒结构设计补偿器装调
中文摘要	针对快焦比特大非球面度离轴非球面反射镜，设计了3片式Offner补偿器。为应对3片式补偿器对中心偏差及镜间隔严格的公差要求,设计了相应的补偿器镜筒结构。该结构使透镜中心倾斜及平移调整相分离，实现补偿器的高精度装调。根据中心偏差测量仪的测量结果，2片补偿镜之间倾斜误差4.4″，平移误差3.5μm，镜间隔误差3.8μm；补偿镜组与场镜之间倾斜误差5.3″，平移误差4.2μm，镜间隔误差7.2μm，满足检测使用要求。利用该补偿器及4D动态干涉仪对精抛光阶段的离轴非球面进行检测，面形结果PV值达到0.135λ，RMS值达到0.019 5λ，优于设计要求。
学科主题	天文技术与方法
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1434]
专题	南京天文光学技术研究所_中科院南京天光所知识成果_期刊论文南京天文光学技术研究所_镜面技术实验室_期刊论文
作者单位	1.南京天文光学技术研究所 2.中科院天文光学技术重点实验室 3.中国科学院大学
推荐引用方式 GB/T 7714	武中华,袁吕军,朱永田,等. 特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调[J]. 应用光学,2017,38(4):639-643.
APA	武中华,袁吕军,朱永田,&何丽.(2017).特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调.应用光学,38(4),639-643.
MLA	武中华,et al."特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调".应用光学 38.4(2017):639-643.