碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究

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	碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究
	于鹏 ; 于海波; 田孝军; 董再励
刊名	仪器仪表学报
	2008
卷号	29 期号:S 页码:103-106
关键词	碳纳米管介电泳装配场效应晶体管
ISSN号	0254-3087
其他题名	A Method Study on Automated Assembly of Carbon Nanotube Field Effect Transistor
产权排序	1
英文摘要	自碳纳米管(Carbon nanotube,CNT)被发明以来,研究者就对CNT所表现出来的优异的物理、化学以及电学特性产生了浓厚的兴趣。近年来,CNT基纳米器件的研究取得了重要进展。特别是利用半导体性CNT制造的碳纳米管场效应晶体管(Carbon nanotube field effect transistor,CNT-FET),在化学传感器以及生物传感器等领域表现出了巨大的应用潜力。为此,本文首先介绍了目前CNT-FET制造方法的研究现状。对基于介电泳(Dielectrophoresis,DEP)的CNT-FET制造方法进行了系统分析,构建了基于DEP方法可实现碳纳米管场效应晶体管的自动化装配的微滴定实验系统。本文进行的CNT-FET装配实验,证明了该系统的有效性。
学科主题	机器人控制
语种	中文
公开日期	2010-11-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.72.131.170//handle/173321/2541]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
通讯作者	于海波
作者单位	1.中国科学院研究生院 2.中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室沈阳
推荐引用方式 GB/T 7714	于鹏,于海波,田孝军,等. 碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究[J]. 仪器仪表学报,2008,29(S):103-106.
APA	于鹏,于海波,田孝军,&董再励.(2008).碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究.仪器仪表学报,29(S),103-106.
MLA	于鹏,et al."碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究".仪器仪表学报 29.S(2008):103-106.