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	Fabrication and Traceable Quality Evaluation of Fine Pitch TSV with Self-integrated Micro Heater and Thermocouple (CPCI-S收录)
	Guan, Yong[1]; Zeng, Qinghua[1]; Bian, Yuan[1]; Zhong, Xiao[1]; Chen, Jing[1]; Ma, Shenglin[2]; Zhu, Yunhui[3]; Jin, Yufeng[4]
关键词	3D packaging fine pitch TSV micro heater thermocouple quality evaluation
URL标识	查看原文
内容类型	会议
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2039300
专题	华南理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Guan, Yong[1],Zeng, Qinghua[1],Bian, Yuan[1],等.Fabrication and Traceable Quality Evaluation of Fine Pitch TSV with Self-integrated Micro Heater and Thermocouple (CPCI-S收录).

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