两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能

	两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能
	谢浩; 胡淑红; 王洋; 黄田田; 潘晓航; 孙艳; 戴宁
刊名	激光与光电子学进展
	2017
期号	11 页码:332-336
关键词	薄膜液相外延步冷法超冷法 GaAs0.9Sb0.1薄膜
英文摘要	分别采用液相外延瞬态法的两种不同模式———步冷法和超冷法生长了 GaAs0.9Sb0.1薄膜。采用X射线衍射谱、扫描电镜、拉曼光谱仪研究了 GaAs0.9Sb0.1薄膜的晶体结构、截面形貌发光性能等。研究结果表明：与超冷法相比，步冷法生长外延薄膜的速率更加缓慢但薄膜晶体结构的质量更高、界面更平滑；两种不同液相外延模式生长的 GaAs0.9Sb0.1薄膜的光致发光性能差别不大。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.127.2.71:8080/handle/181331/12198]
专题	上海技术物理研究所_上海技物所
作者单位	中国科学院上海技术物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	谢浩,胡淑红,王洋,等. 两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能[J]. 激光与光电子学进展,2017(11):332-336.
APA	谢浩.,胡淑红.,王洋.,黄田田.,潘晓航.,...&戴宁.(2017).两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能.激光与光电子学进展(11),332-336.
MLA	谢浩,et al."两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能".激光与光电子学进展 .11(2017):332-336.