QQ客服 官方微博 反馈留言

	一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法; 一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法; 一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法; 一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法
	张振宇; 王博; 段能东; 江南; 郭东明
	2016-04-06
著作权人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利号	CN105463402A
国家	中国
文献子类	发明
英文摘要	一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法，属于纳米孪晶化表面制造技术领域。其特征是采用光刻技术在硅片表面刻蚀出倒金字塔坑阵列，作为金刚石针尖阵列生长的母版。采用微波等离子化学气相沉积方法生长带有均匀排列的金刚石针尖阵列的金刚石模板，用氢气和甲烷进行金刚石模板的生长。采用氢氟酸和硝酸的混合溶液刻蚀硅基板，形成金刚石针尖阵列模板，针尖的曲率半径为100-900nm，高度为18-30μm，长、宽和间距为几十个μm，金刚石针尖的尺寸和形状均匀一致，针尖阵列排列均匀。采用平方厘米量级的金刚石针尖阵列模板作为压印工具，工具或样品在X和Y方向作微米量级移动。本发明的效果和益处是实现了大面积纳米孪晶化表面制造方法。
公开日期	2016-04-06
申请日期	2015-11-18
状态	公开
内容类型	专利
源URL	[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15728]
专题	宁波材料技术与工程研究所_专利成果
推荐引用方式 GB/T 7714	张振宇,王博,段能东,等. 一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法, 一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法, 一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法, 一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法. CN105463402A. 2016-04-06.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。