毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作

	毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作
	李加东; 张轲; 吴东岷; 苗斌
刊名	压电与声光
	2016-08-15
期号	4 页码:562-565
关键词	力值计量悬臂梁弹性系数微机电系统绝缘衬底上的硅(Soi)
英文摘要	随着微纳技术、生物医学、航空航天等领域的发展,微小力值的计量得到了越来越广泛的应用。针对无源悬臂梁力值传感器的使用需求,研究了影响悬臂梁弹性系数的因素,设计了一组弹性系数为0.041~21.125N/m的无源悬臂梁力值传感器件,采用基于绝缘体上硅(SOI)硅片微机电系统(MEMS)工艺对器件进行制备,实验结果表明,制备的器件尺寸精度达到0.2%,器件的均匀性和成品率均可控。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57966]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李加东,张轲,吴东岷,等. 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作[J]. 压电与声光,2016(4):562-565.
APA	李加东,张轲,吴东岷,&苗斌.(2016).毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作.压电与声光(4),562-565.
MLA	李加东,et al."毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作".压电与声光 .4(2016):562-565.