纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用

CORC > 力学研究所 > 中国科学院力学研究所 > 力学所知识产出(1956-2008)

	纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用
	张泰华
刊名	微纳电子技术
	2003
卷号	40 期号:7/8 页码:212-214
ISSN号	1671-4776
中文摘要	纳米硬度计是一种能提供103mm-10-2mm尺度材料或结构微力学性能检测的先进仪器。采用纳米压痕技术，研究薄膜材料的弹性模量和硬度随压痕深度的变化规律以及薄膜厚度测量，微桥弯曲变形测量的方法。采用纳米划痕技术，研究薄膜的表面粗糙度、临界附着力和摩擦系数测量的方法。该仪器能广泛应用于MEMS的力学检测，并有望成为这一领域内的标准力学检测设备。
学科主题	力学
收录类别	国内刊物
公开日期	2007-06-15 ; 2007-12-05 ; 2009-06-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/17076]
专题	力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式 GB/T 7714	张泰华. 纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用[J]. 微纳电子技术,2003,40(7/8):212-214.
APA	张泰华.(2003).纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用.微纳电子技术,40(7/8),212-214.
MLA	张泰华."纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用".微纳电子技术 40.7/8(2003):212-214.