一种保护石墨烯薄膜刻蚀和转移的装置以及方法

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	一种保护石墨烯薄膜刻蚀和转移的装置以及方法
	钟达; 史浩飞; 崔华亭; 李占成; 谭其良
	2018-04-03
著作权人	重庆墨希科技有限公司
专利号	2014106061691
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及石墨烯制造技术领域，尤其涉及一种保护石墨烯薄膜刻蚀和转移的装置以及方法，包括第一夹具和第二夹具，所述第一夹具为由第一夹具柱组成的方形框架结构，所述第二夹具为由四个第二夹具柱组成的方形框架结构，所述第一夹具的方形大小和所述第二夹具的方形大小相同，且所述第一夹具设置在所述第二夹具的上方，所述第一夹具和所述第二夹具通过活动卡扣连接，所述第一夹具和所述第二夹具之间设有夹具间隙。本发明的有益效果是：采用第一夹具和第二夹具组成的转移装置，在对石墨烯片进行刻蚀前对其进行夹持，不仅能方便对石墨烯片的转移，并且能对石墨烯片在刻蚀时进行保护，避免石墨烯片触及刻蚀液槽底部导致石墨烯薄膜的损伤。全部
分类号	H01l21/02(2006.01)i ; H01l21/687(2006.01)i
申请日期	2014-10-29
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5766]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	(1)重庆墨希科技有限公司;(2)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	钟达,史浩飞,崔华亭,等. 一种保护石墨烯薄膜刻蚀和转移的装置以及方法. 2014106061691. 2018-04-03.