一种用于石墨烯生长的载具

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	一种用于石墨烯生长的载具
	于本文; 史浩飞; 徐鑫; 李占成; 钟达
	2015-07-08
著作权人	重庆墨希科技有限公司
专利号	2015201119408
国家	中国
文献子类	实用新型
英文摘要	本实用新型涉及一种用于石墨烯生长的载具，载具包括立方体框架，立方体框架的底端上设有底挡板，立方体框架相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板，两个侧挡板相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽，两个侧挡板上的侧挡板槽分别一一对应，在立方体框架设有侧挡板的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽，立方体框架的顶端设有若干横向石英棒，相邻的两个横向石英棒之间设有碳碳复合材料薄板，碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板的侧挡板槽内。将生长基底铺设在碳碳复合材料薄板上，将纵向石英棒依次穿过碳碳复合材料薄板和生长基底后，将生长基底置于载具上，有效防止生长基底粘连，提升炉体加工产能。
分类号	C01b31/04(2006.01)i
申请日期	2015-02-15
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5675]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	(1)重庆墨希科技有限公司; (2)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	于本文,史浩飞,徐鑫,等. 一种用于石墨烯生长的载具. 2015201119408. 2015-07-08.