一种控制石墨烯晶核生长的载具

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	一种控制石墨烯晶核生长的载具
	高翾; 李占成; 姜浩; 史浩飞
	2017-10-03
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2016100570220
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开一种控制石墨烯晶核生长的载具。载具包括上盖、盒子和用于生长石墨烯的平直的金属基底，上盖上开有小孔，上盖和盒子均由石墨、石英、氮化硅或碳化硅等熔点大于1000摄氏度的耐高温材料制成；金属基底放置于盒子的底座上后金属基底与盖在盒子上的上盖下表面距离小于等于2mm。该载具的使用方法包括金属基底预处理、金属基底退火、石墨烯成核、冷却和氧化过程。本发明在成核阶段载具的开孔大小对反应气体的起到限流作用，可以控制石墨烯在铜箔上的成核区域和成核密度；通过开孔大小和各种生长参数控制减小石墨烯的成核密度从而实现大单晶石墨烯的制备；通过CVD管式炉控制气体比例和压强使石墨烯单晶或多晶面积长大。
分类号	C01b32/184(2017.01)i
申请日期	2016-01-28
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5358]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	高翾,李占成,姜浩,等. 一种控制石墨烯晶核生长的载具. 2016100570220. 2017-10-03.