一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器及制作方法

	一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器及制作方法
	杨俊; 魏大鹏; 汤林龙; 史浩飞; 杜春雷
	2017-10-27
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2014106531108
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器，包括柔性衬底、设置在柔性衬底上的石墨烯纳米墙和设置在石墨烯纳米墙上的电极，所述柔性衬底会因气体流动而产生微小震动，从而导致石墨烯纳米墙的电阻发生改变；与此同时，本发明还提供一种制作前述气流传感器的方法。本发明所提供的气流传感器对气体流动有优良的探测特性，并且体积小巧，功耗低，性能稳定；同时柔性较好，可穿戴性能佳。
分类号	G01d5/16(2006.01)i
申请日期	2014-11-13
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5350]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	杨俊,魏大鹏,汤林龙,等. 一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器及制作方法. 2014106531108. 2017-10-27.