Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能

	Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能
	郝思坤; 黎伟; 孟卫民; 白建民; 杨正; 魏福林
刊名	磁性材料及器件
	2011-06-15
期号	3 页码:13-16
关键词	Ba3Co2Fe24O41 铁氧体薄膜溅射热处理磁性能
其他题名	Co_2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能
中文摘要	首先用球磨法制备了BaxCo2Fe24O41铁氧体粉料,烧结后制得块体材料,然后以其为靶材,用射频磁控溅射的方法在单晶硅基片上制备了膜厚为100nm的铁氧体薄膜。实验表明,沉积态的薄膜为非晶态结构,经过高温热处理后形成了较好的磁铅石结构。研究了成分、热处理温度、氧分压对薄膜结构和磁性能的影响。通过对热处理温度和氧分压的调整,制备出性能较好的Ba3Co2Fe24O41薄膜,饱和磁化强度为46.8A.m2/kg,矫顽力为7.3 kA/m。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102863]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	郝思坤,黎伟,孟卫民,等. Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能[J]. 磁性材料及器件,2011(3):13-16.
APA	郝思坤,黎伟,孟卫民,白建民,杨正,&魏福林.(2011).Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能.磁性材料及器件(3),13-16.
MLA	郝思坤,et al."Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能".磁性材料及器件 .3(2011):13-16.