纳米结构TiN薄膜的制备与性能研究 | |
闫鹏勋; 吴志国; 徐建伟; 张玉娟; 李鑫; 张伟伟 | |
刊名 | 人工晶体学报/Rengong Jingti Xuebao/Journal of Synthetic Crystals |
2004-12-30 | |
卷号 | 33期号:6页码:974-977 |
关键词 | 纳米结构氮化钛 薄膜 等离子体 |
ISSN号 | 1000985X |
其他题名 | Investigation on the nano-structure TiN thin film prepared by filtered cathodic arc plasma |
中文摘要 | 利用自行研制的磁过滤等离子体设备 ,在室温条件下的不锈钢基底上成功地制备了性能良好的纳米结构TiN薄膜。运用原子力显微镜和X射线衍射仪对其结构和形貌进行了表征。利用纳米硬度仪测量了TiN薄膜的硬度和弹性模量。结果显示 :沉积的TiN薄膜表面非常平整光滑 ,致密而无缺陷 ;硬度远高于粗晶TiN的硬度 ;TiN晶粒尺寸在 3 0~ 5 0nm ;沉积过程中在基底上施加的负偏压会影响纳米结构TiN薄膜的结构和性能 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102478] |
专题 | 物理科学与技术学院_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 闫鹏勋,吴志国,徐建伟,等. 纳米结构TiN薄膜的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报/Rengong Jingti Xuebao/Journal of Synthetic Crystals,2004,33(6):974-977. |
APA | 闫鹏勋,吴志国,徐建伟,张玉娟,李鑫,&张伟伟.(2004).纳米结构TiN薄膜的制备与性能研究.人工晶体学报/Rengong Jingti Xuebao/Journal of Synthetic Crystals,33(6),974-977. |
MLA | 闫鹏勋,et al."纳米结构TiN薄膜的制备与性能研究".人工晶体学报/Rengong Jingti Xuebao/Journal of Synthetic Crystals 33.6(2004):974-977. |
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