In掺杂ZnO薄膜的制备及其特性研究

	In掺杂ZnO薄膜的制备及其特性研究
	朋兴平; 杨映虎; 宋长安; 王印月
刊名	光学学报/Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica
	2004-12-17
卷号	24 期号:11 页码:1459-1462
关键词	薄膜光学 ZnO薄膜 In掺杂光致发光谱射频反应溅射 Indium doping Radio frequency reactive sputtering Thin film optics Zinc oxide films
ISSN号	02532239
其他题名	Preparation and study of properties of indium-doped ZnO films on Si substrates
通讯作者	Peng, X. (pengxp@lzu.edu.cn)
中文摘要	采用射频反应溅射技术在硅 (10 0 )衬底上制备了未掺杂和掺In的ZnO薄膜。掠角X射线衍射测试表明 ,实验中制备的掺In样品为ZnO薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计分别对两样品的结构、表面形貌和光致发光特性进行了表征 ,分析了In掺杂对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响。与未掺杂ZnO薄膜相比 ,掺InZnO薄膜具有高度的C轴择优取向 ,同时样品的晶格失配较小 ,与标准ZnO粉末样品之间的晶格失配仅为 0 .16 % ;掺InZnO薄膜表面平滑 ,表面最大不平整度为 7nm。在掺In样品的光致发光谱中观察到了波长位于 4 15nm和 4 33nm处强的蓝紫光双峰 ,对掺In...
学科主题	714.2 Semiconductor Devices and Integrated Circuits;741.1 Light/Optics;804.2 Inorganic Compounds;931.2 Physical Properties of Gases, Liquids and Solids
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102474]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	朋兴平,杨映虎,宋长安,等. In掺杂ZnO薄膜的制备及其特性研究[J]. 光学学报/Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica,2004,24(11):1459-1462.
APA	朋兴平,杨映虎,宋长安,&王印月.(2004).In掺杂ZnO薄膜的制备及其特性研究.光学学报/Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica,24(11),1459-1462.
MLA	朋兴平,et al."In掺杂ZnO薄膜的制备及其特性研究".光学学报/Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica 24.11(2004):1459-1462.