不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜的硬度

	不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜的硬度
	陈光华; 卢阳华
刊名	无机材料学报/Wuji Cailiao Xuebao/Journal of Inorganic Materials
	1996-11-15
卷号	11 期号:4 页码:7
关键词	类金刚石薄膜硬度
ISSN号	1000324X
其他题名	Hardness of DLC films deposited on stainless steel
中文摘要	利用射频辉光放电法在不锈钢衬底上制备了类金刚石薄膜（Ｄｉａｍｏｎｄ－ｌｉｋｅｃａｒｂｏｎｆｉｌｍｓ，简称ＤＬＣ）．用显微硬度计测试了薄膜与衬底的复合硬度和衬底硬度，并用Ｂ．Ｊｏｎｓｓｏｎ和Ｂ．Ｈｏｇｍａｒｋ方法将薄膜硬度分离出来，得到了硬度值与制备参数间的关系，确定了在不锈钢衬底上沉积高硬度和强附着度类金刚石薄膜的最佳工艺条件范围．并对实验结果进行了理论解释．
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102154]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	陈光华,卢阳华. 不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜的硬度[J]. 无机材料学报/Wuji Cailiao Xuebao/Journal of Inorganic Materials,1996,11(4):7.
APA	陈光华,&卢阳华.(1996).不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜的硬度.无机材料学报/Wuji Cailiao Xuebao/Journal of Inorganic Materials,11(4),7.
MLA	陈光华,et al."不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜的硬度".无机材料学报/Wuji Cailiao Xuebao/Journal of Inorganic Materials 11.4(1996):7.