反应溅射法制备的软磁铁氮膜

	反应溅射法制备的软磁铁氮膜
	肖春涛; 韩建平; 耿胜利; 杨正; 陈子瑜
刊名	磁记录材料
	1996-02-15
期号	1 页码:23-25
关键词	反应溅射法:7407 软磁铁:3843 软磁性能:3044 晶粒尺寸:2115 晶体形变:1960 有效磁各向异性:1953 有效各向异性:1736 晶粒生长:1450 制备条件:1405 X射线:1361
其他题名	反应溅射法制备的软磁铁氮膜
中文摘要	用反应溅射法在Ar＋N2混合气氛中制备了软磁性铁氮膜，并对样品进行了真空退火热处理。考察了制备条件和热处理对铁氮膜的微结构和软磁性能的影响。发现氮气的加入导致了晶粒尺寸减小和软磁性能改善，还能抑制热处理过程中的晶粒生长
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102119]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	肖春涛,韩建平,耿胜利,等. 反应溅射法制备的软磁铁氮膜[J]. 磁记录材料,1996(1):23-25.
APA	肖春涛,韩建平,耿胜利,杨正,&陈子瑜.(1996).反应溅射法制备的软磁铁氮膜.磁记录材料(1),23-25.
MLA	肖春涛,et al."反应溅射法制备的软磁铁氮膜".磁记录材料 .1(1996):23-25.