a-Ge:H薄膜电学性质的研究 | |
王印月; 王辉耀; 陈光华 | |
刊名 | 兰州大学学报
![]() |
1994-09-22 | |
期号 | 3页码:3 |
关键词 | 氢化非晶锗 电导率 光吸收谱 反应溅射 射频功率 |
其他题名 | a─Ge:H薄膜电学性质的研究 |
中文摘要 | 用光吸收谱和电导率测量较全面地研究了射频反应溅射淀积的a-Ge:H薄膜的电学性质:研究了射频功率和退火温度对a-Ge:H膜电学性质的影响.所得结果为a-Ge:H的应用提供了一定的依据。 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101368] ![]() |
专题 | 物理科学与技术学院_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王印月,王辉耀,陈光华. a-Ge:H薄膜电学性质的研究[J]. 兰州大学学报,1994(3):3. |
APA | 王印月,王辉耀,&陈光华.(1994).a-Ge:H薄膜电学性质的研究.兰州大学学报(3),3. |
MLA | 王印月,et al."a-Ge:H薄膜电学性质的研究".兰州大学学报 .3(1994):3. |
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