钼薄膜的制备、力学性能和磨损性能

	钼薄膜的制备、力学性能和磨损性能
	许世红; 王金清; 刘维民; 阎鹏勋
刊名	材料保护
	2003-12-30
期号	12 页码:11-13
关键词	摩擦学钼薄膜薄膜硬度微结构纳米压入直流磁控溅射
其他题名	钼薄膜的制备、力学性能和磨损性能
中文摘要	采用直流磁控溅射技术在GCr15轴承钢底材上沉积了钼薄膜。利用XRD,AFM对不同负偏压下沉积的钼薄膜的结构和表面形貌进行了表征;利用纳米压痕仪对薄膜的硬度和膜基结合强度进行了测定;最后利用DF PM型动静摩擦系数精密测定仪和扫描电镜(SEM)研究了薄膜的硬度、残余模量与负偏压的关系。结果表明:利用直流磁控溅射法制备的钼薄膜的硬度随负偏压的变化存在最大值,另外负偏压还影响薄膜的微结构、粗糙度以及膜基结合力,但负偏压的改变对钼薄膜的摩擦系数影响不大。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101113]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	许世红,王金清,刘维民,等. 钼薄膜的制备、力学性能和磨损性能[J]. 材料保护,2003(12):11-13.
APA	许世红,王金清,刘维民,&阎鹏勋.(2003).钼薄膜的制备、力学性能和磨损性能.材料保护(12),11-13.
MLA	许世红,et al."钼薄膜的制备、力学性能和磨损性能".材料保护 .12(2003):11-13.