高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法
王洪浩; 明名; 吕天宇; 邹惠莹
刊名红外与激光工程
2016-04-25
期号4页码:148-154
关键词高陡度 高精度检测 环形子孔径拼接 拼接算法
中文摘要环形子孔径拼接技术检测大口径、高陡度光学非球面具有低成本、高效率的特点。提出一种基于最小二乘法和泽尼克多项式拟合的环形子孔径拼接方法检测高陡度光学非球面。研究了环形子孔径拼接算法的基本原理,对环形子孔径的划分方式进行数学公式推导及参数运算,建立被测非球面的有效数学模型。全口径的拼接结果与原始波面基本一致,二者PV和RMS差值分别为0.015 1λ、0.004 7λ(λ为632.8 nm),残差的PV和RMS值为0.043 5λ、0.005 2λ,验证该算法的有效性和准确性。
语种中文
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57643]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王洪浩,明名,吕天宇,等. 高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法[J]. 红外与激光工程,2016(4):148-154.
APA 王洪浩,明名,吕天宇,&邹惠莹.(2016).高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法.红外与激光工程(4),148-154.
MLA 王洪浩,et al."高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法".红外与激光工程 .4(2016):148-154.
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