| 微型真空传感器制作工艺的研究; Research of Micro Vacuum Sensor Production Process | |
| 俞龙发 ; 冯勇建 | |
| 2011 | |
| 关键词 | 光刻 腐蚀 扩散 键合 lithography corrosion diffusion bonding |
| 英文摘要 | 介绍微型真空传感器制作工艺的流程,阐述了清洗、氧化、光刻、腐蚀、扩散、键合等工艺的方法和特点,分析了制作工艺过程中出现的问题并提出解决的方法,最后对制作工艺进行总结。; In this paper,Micro vacuum sensor production process is introduced.Methods and characteristics of cleaning,oxidation,lithography,etching,diffusion and bonding processes are elaborated.The questions in the production process are analyzed and the solutions are proposed.At last,production process is summarized.; 福建省科技计划项目(2010A6025) |
| 语种 | zh_CN |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/105435]  |
| 专题 | 航空航天－已发表论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞龙发,冯勇建. 微型真空传感器制作工艺的研究, Research of Micro Vacuum Sensor Production Process[J],2011. |
| APA | 俞龙发,&冯勇建.(2011).微型真空传感器制作工艺的研究.. |
| MLA | 俞龙发,et al."微型真空传感器制作工艺的研究".(2011). |
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