| 题名 | 基于机器视觉的PZT晶片缺陷检测系统; A machanical vision designing of PZT wafer defect inspection system |
| 作者 | 邹建男 |
| 答辩日期 | 2016-03-18 ; 2015-05-22 |
| 导师 | 冯勇建 |
| 关键词 | PZT晶片 视觉检测 表面缺陷 PZT wafer Visual inspection Surface defect inspection |
| 英文摘要 | 压电晶体PZT产品常有裂纹、油污、破损及涂胶不均等表面缺陷，且缺陷尺寸、形状不确定，因而导致人工分检难度大，分检合格率低。为此本文提出了用机器视觉检测PZT产品的表面缺陷，研究在产品图像准确获取的基础上，通过图像增强、图像分割和缺陷特征提取的算法实施，由软件程序确定PZT产品的表面缺陷。本文主要研究内容如下： ①采用空间域和频域方法增强待测PZT图像特征，并用微分算子法和阈值分割进行PZT图像边缘分割，从而完成了工件图像在背景中的分离，降低处理的复杂性，提高处理速度。 ②采用区域连通的轮廓识别方法，给出金属基片与PZT感受膜的图形，根据图形内外轮廓的偏心距判断工件缺陷；采用波长400nm紫...; The piezoelectric PZT products often crack, breakage, oil and coating uneven surface defects, defect size, shape and uncertainty, resulting in manual inspection is difficult, low qualified rate.In this paper, the surface defects of machine vision detection of PZT products, basic research in product image obtain, through the implementation of image enhancement, image segmentation and feature extrac...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院_工程硕士(电子与通信工程); 学号：33120121152678 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=50235 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/134370]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邹建男. 基于机器视觉的PZT晶片缺陷检测系统, A machanical vision designing of PZT wafer defect inspection system[D]. 2016, 2015. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论