| 氧环境扫描电子显微分析:消除绝缘材料荷电效应的新方法 | |
| 张虹 ; 吉元 ; 权雪玲 ; 徐学东 ; 张隐奇 | |
| 2012-04-13 ; 2012-04-13 | |
| 关键词 | 荷电效应 氧环境 环境扫描电镜 Al2O3 Al(OH)3 |
| 中文摘要 | 在环境扫描电镜(ESEM)中注入氧气,减少和消除绝缘样品表面在电子束辐照下产生的荷电效应。二次电子像的观察显示,在压力为130Pa~600Pa的ESEM中,氧气对Al2O3、Al(OH)3等氧化物、氢氧化物及生物样品的荷电补偿效果,优于常用的水蒸汽环境。通过吸收电流Ia的实时测试,评价了氧环境的荷电补偿效果。采用氧气减少表面荷电基于一个新的概念:在电子束的辐照下,电子受激解吸可造成表面氧亏损,使能带产生畸变,形成捕获电子的势阱。氧环境提供的氧离子可实现对氧空位的修复,从而消除了荷电效应。 |
| 原文出处 | http://guest.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZKKX200505006&dbname=CJFQ2005 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/16793]  |
| 专题 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张虹,吉元,权雪玲,等. 氧环境扫描电子显微分析:消除绝缘材料荷电效应的新方法[J],2012, 2012. |
| APA | 张虹,吉元,权雪玲,徐学东,&张隐奇.(2012).氧环境扫描电子显微分析:消除绝缘材料荷电效应的新方法.. |
| MLA | 张虹,et al."氧环境扫描电子显微分析:消除绝缘材料荷电效应的新方法".(2012). |
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