| 用于TES测辐射热计的Al/Ti双层薄膜制备及其超导特性研究(英文) | |
| 张青雅 ; 董文慧 ; 王天顺 ; 陈俊康 ; 刘建设 ; 李铁夫 ; 周幸祥 ; 陈炜 ; Qingya ZHANG ; Wenhui DONG ; Tianshun WANG ; Junkang CHEN ; Jianshe LIU ; Tiefu LI ; Xingxiang ZHOU ; Wei CHEN | |
| 2016-03-30 ; 2016-03-30 | |
| 关键词 | Al/Ti双层薄膜 临界温度 邻近效应 TES测辐射热计 Al/Ti bilayers critical temperature proximity effect TES bolometer TB383.2 |
| 其他题名 | PREPARATION AND SUPERCONDUCTING PROPERTIES OF AL/TI BILAYERS for TES BOLOMETERS |
| 中文摘要 | 本文报道了用于超导TES(Transition Edge Sensor)测辐射热计的Al/Ti双层薄膜制备及其超导特性研究.通过分析Al薄膜表面粗糙度和室温电阻率在不同溅射功率和氩气压力下的变化关系,优化了Al薄膜的制备工艺.使用磁控溅射技术生长了一系列不同厚度的Al/Ti双层薄膜,在氦三制冷机中测量了双层膜的超导特性.测试结果表明,Al/Ti双层薄膜具有良好的超导相变特性,在10μA测试电流下,其相变宽度保持在3mK~6mK范围内,在超导临界温度下电阻对温度的灵敏度参量α在300左右;由于超导邻近效应(Proximity effect),双层薄膜的临界温度可以通过控制Ti薄膜的厚度实现在470mK~800mK温区内的调节.Al/Ti双层薄膜的这些性能满足了制备超导TES测辐射热计的需要.; We report the fabrication and characterization of Al/Ti bilayers for TES(Transition Edge Sensor)bolometer applications.By measuring and analyzing how surface roughness and resistivity of the fabricated Al thin film vary with the sputtering power and Argon gas pressure,we can choose the most favorable sputtering condition and optimize the fabrication process.We then deposited Al/Ti bilayers with different thickness and measured their properties in a3 He refrigerator.The results show that the fabricated Al/Ti bilayers have a narrow normal to superconducting transition width of 3~6mK under a bias current of 10μA which corresponds to a maximum temperature sensitivity of around 300.By varying the thickness of the Ti film,we can change the critical temperature of the Al/Ti bilayers between 470mK and 800mK.Because of the high quality of our fabricated Al/Ti bilayers,they are suitable for TES bolometer applications. |
| 语种 | 英语 ; 英语 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://ir.lib.tsinghua.edu.cn/ir/item.do?handle=123456789/146608]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张青雅,董文慧,王天顺,等. 用于TES测辐射热计的Al/Ti双层薄膜制备及其超导特性研究(英文)[J],2016, 2016. |
| APA | 张青雅.,董文慧.,王天顺.,陈俊康.,刘建设.,...&Wei CHEN.(2016).用于TES测辐射热计的Al/Ti双层薄膜制备及其超导特性研究(英文).. |
| MLA | 张青雅,et al."用于TES测辐射热计的Al/Ti双层薄膜制备及其超导特性研究(英文)".(2016). |
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