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	基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法
	徐哲 ; 刘云峰 ; 董景新 ; XU Zhe ; LIU Yun-feng ; DONG Jing-xin
	2016-03-30 ; 2016-03-30
关键词	硅微梳齿式加速度计 温漂 闭环点位置 滞环 comb-finger micromechanical silicon accelerometer thermal drift close-loop position hysteresis TH824.4
其他题名	Thermal drift reduction of comb-finger micromechanical silicon accelerometer based on close-loop position control
中文摘要	环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素。提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置。试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内。; The output of accelerometer detection circuit is affected by the change of ambient temperature, so the proof-mass may deviate from the original close-loop position. In this paper, the impacts of the deviation on the scale factor and bias are analyzed. The results show that the close-loop position drift is the main factor for causing the thermal drift of bias K0, and is the secondary factor for causing the thermal drift of scale factor K1. A method based on close-loop position control is proposed. The close-loop position is stabilized in a fixed position by adding control voltage to inner loop. The test results indicate that the thermal drift of the bias is dramatically reduced by means of the close-loop position control. The thermal drift coefficient of the bias in zero-feedback position is decreased by an order of magnitude. The hysteresis is depressed to � mV(�.77 mg).
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.lib.tsinghua.edu.cn/ir/item.do?handle=123456789/144529]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	徐哲,刘云峰,董景新,等. 基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法[J],2016, 2016.
APA	徐哲,刘云峰,董景新,XU Zhe,LIU Yun-feng,&DONG Jing-xin.(2016).基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法..
MLA	徐哲,et al."基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法".(2016).

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