| AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用 | |
| 郭占社 ; 吴一辉 ; 孟永钢 ; GUO Zhanshe ; WU Yihui ; MENG Yonggang | |
| 2010-06-08 ; 2010-06-08 | |
| 关键词 | 机械制造工艺
AZ4903
电磁型平面微电机
绕组线圈
|
| 其他题名 | Application of AZ4903 to the production of micromotor's stator windings |
| 中文摘要 | 为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40μm、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小。; Electromagnetic planar micromotors were produced using AZ4903 with high depth-width ratios and thicknesses of the planar micromotor's stator windings. The production method can optimize the coating thickness as a function of the relational speed and the prebaking time as a function of the operating temperature. The optimal lithography and developing times are also given. A winding thickness of 40 μm gives the ideal perpendicularity. Tests of the rotational speeds and pull-out torque of the micromotors show that the micromotor works at steady speeds with little ripple of the pull-out torque. |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/49245]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭占社,吴一辉,孟永钢,等. AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用[J],2010, 2010. |
| APA | 郭占社,吴一辉,孟永钢,GUO Zhanshe,WU Yihui,&MENG Yonggang.(2010).AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用.. |
| MLA | 郭占社,et al."AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用".(2010). |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论