蓝宝石表面处理对氮化镓光学性质的影响

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	蓝宝石表面处理对氮化镓光学性质的影响
	彭冬生 ; 冯玉春 ; 刘文 ; 刘毅 ; 牛憨笨
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GZXB200806023&dbname=CJFQ2008
	2012-04-26 ; 2012-04-26
关键词	GaN薄膜光学性质表面处理 MOCVD
中文摘要	采用化学方法腐蚀部分c面蓝宝石衬底,在腐蚀区域形成一定的图案,利用LP-MOCVD在经过表面处理的蓝宝石衬底上外延生长GaN薄膜.利用GaN薄膜光学透射谱,结合椭偏测量得到的折射率色散公式,计算得到GaN薄膜厚度,与椭偏光谱结果几乎一致;在经过表面处理的蓝宝石衬底上外延生长的GaN薄膜表现出更优异的光学质量和结晶质量,其透射谱具有更高的透射率和更大的调制深度,而且其光致发光谱中的黄光带几乎可以忽略.
语种	中文
其他责任者	中国科学院西安光学精密机械研究所 ; 深圳大学光电子学研究所 ; 深圳大学师范学院 ; 深圳大学光电子学研究所西安710119中国科学院研究生院 ; 北京100039深圳大学光电子学研究所 ; 广东深圳518060
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/244041/89]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	彭冬生,冯玉春,刘文,等. 蓝宝石表面处理对氮化镓光学性质的影响[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GZXB200806023&dbname=CJFQ2008,2012, 2012.
APA	彭冬生,冯玉春,刘文,刘毅,&牛憨笨.(2012).蓝宝石表面处理对氮化镓光学性质的影响.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GZXB200806023&dbname=CJFQ2008.
MLA	彭冬生,et al."蓝宝石表面处理对氮化镓光学性质的影响".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GZXB200806023&dbname=CJFQ2008 (2012).