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	悬臂梁室温瓦斯传感器
	马洪宇 ; 丁恩杰 ; 张卫东
	2015-09-06 ; 2015-09-06
中文摘要	一种悬臂梁室温瓦斯传感器，在硅衬底上设有由N阱、二氧化硅层、钝化层、瓦斯敏感层构成的微悬臂梁，硅衬底上表面内侧设有N阱，N阱上表面内侧设有N+电阻和P+电阻，P+电阻构成惠斯通电桥的桥臂电阻，设有二氧化硅层覆盖硅衬底和N阱，二氧化硅层上设有穿过二氧化硅层分别与P+电阻和N+电阻接触的金属层，设有覆盖金属层和二氧化硅层的钝化层，微悬臂梁的钝化层上设有瓦斯敏感层，微悬臂梁之外的二氧化硅层上设有多个露出的电极引线；敏感层吸附或解吸附甲烷导致悬臂梁根部应力改变，采用惠斯通电桥测量应力的变化实现瓦斯浓度的检测。该传感器具有性能稳定、寿命长、功耗低，体积小、分辨率高等优点并有温度补偿功能。; 专利类型： 发明专利 申请（专利）号： CN201110077346.8 申请日期： 2011年3月30日 公开(公告)日： 2011年10月26日 公开(公告)号： CN102226776A 主分类号： G01N27/04,G01N27/00,G,G01,G01N,G01N27 分类号： G01N27/04,G01N27/00,G,G01,G01N,G01N27 申请（专利权）人： 中国矿业大学 发明（设计）人： 马洪宇,丁恩杰,张卫东 主申请人地址： 221116 江苏省徐州市三环南路中国矿业大学科技处 专利代理机构： 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人： 唐惠芬 国别省市代码： 江苏;32 主权项： 一种悬臂梁室温瓦斯传感器，其特征在于：该传感器以硅衬底（101）为基底，在硅衬底（101）上设有由N阱（102）、二氧化硅层（104）、钝化层（105）、瓦斯敏感层（106）构成瓦斯敏感的微悬臂梁（108），其中：在硅衬底（101）上表面内侧设有N阱（102），N阱（102）上表面内侧设有P+电阻（103）和N+电阻（107），设有覆盖硅衬底（101）和N阱（102）的二氧化硅层（104），二氧化硅层（104）上设有穿过二氧化硅层（104）分别与P+电阻（103）和N+电阻（107）相接触的金属层（110），金属层（110）和二氧化硅层（104）上覆盖有钝化层（105），微悬臂梁（108）的钝化层（105）上设有瓦斯敏感层（106），微悬臂梁（108）之外的二氧化硅层（104）上设有多个露出的电极引线（109）；所述的P+电阻（103）包括作为惠斯通电桥第一桥臂电阻（1031）的第一电阻（R1）与第三电阻（R3）和第二桥臂电阻（1032）的第二电阻（R2）与第四电阻（R4），第一桥臂电阻（1031）位于悬臂梁（108）内。 法律状态： 公开 ，实质审查的生效
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/232060/11748]
专题	中国矿业大学（徐州）
推荐引用方式 GB/T 7714	马洪宇,丁恩杰,张卫东. 悬臂梁室温瓦斯传感器. 2015-09-06, 2015-09-06.

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