熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究

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	熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究
	单耀莹 ; 赵江山 ; 李慧 ; 王倩 ; 沙鹏飞 ; 周翊 ; 周军 ; 袁志军 ; 张海波 ; 楼祺洪
刊名	中国激光
	2013
卷号	40 期号:4 页码:402008
其他题名	Application Study on Fused Silica Prisms in Excimer Laser Spectrum Control
通讯作者	单耀莹, 中国科学院光电研究院, 北京 100094, 中国. ; 赵江山, 中国科学院光电研究院, 北京 100094, 中国. ; 李慧, 中国科学院光电研究院, 北京 100094, 中国. ; 王倩, 中国科学院光电研究院, 北京 100094, 中国. ; 沙鹏飞, 中国科学院光电研究院, 北京 100094, 中国. ; 周翊, 中国科学院光电研究院, 北京 100094, 中国. ; 周军, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. ; 袁志军, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. ; 张海波, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. ; 楼祺洪, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国.
中文摘要	针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的效果。利用熔融石英(FS)等腰直角棱镜与光栅的组合实现了线宽0.957 pm的ArF准分子激光输出。理论分析和实验结果表明,作为深紫外波段的良好通光材料,熔融石英棱镜可以实现与常用氟化钙(CaF_2)棱镜相近的线宽压窄结果。同时作为等腰直角方式设计,具有更高的切割成型工艺精度、更低的使用维护成本和更广泛的应用价值。
英文摘要	Due to the application of excimer lasers, it is necessary to control the output spectrum of excimer laser. Control spectrum contain narrowing bandwidth and stable output of center wavelength. The familiar mean of linenarrowing is using combination of beam expander prisms and grating to narrow the bandwidth of laser. With the combination of fused silica prisms and grating controlling the ArF excimer laser, the line-narrowed excimer laser of the output spectrum of light source is 0.957 pm. Theory analysis and experiments indicate that with a high transmission in ultraviolet (UV), fused silica prisms can reach the same effect in line-narrowing with the CaF_2 which is often used now. At the same time, the cutting way of isoceles triangle prisms can be made more exactly, less costing and should be applied more widely.
收录类别	EI
语种	中文
内容类型	期刊论文
版本	出版稿
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14929]
专题	上海光学精密机械研究所_空间激光信息技术研究中心
作者单位	1.Shan Yaoying, Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China. 2.Zhao Jiangshan, Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China. 3.Li Hui, Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China. 4.Wang Qian, Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China. 5.Sha Pengfei, Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China. 6.Zhou Yi, Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China. 7.Zhou Jun, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China. 8.Yuan Zhijun, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China. 9.Zhang Haibo, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China. 10.Lou Qihong, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China.
推荐引用方式 GB/T 7714	单耀莹,赵江山,李慧,等. 熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究[J]. 中国激光,2013,40(4):402008.
APA	单耀莹.,赵江山.,李慧.,王倩.,沙鹏飞.,...&楼祺洪.(2013).熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究.中国激光,40(4),402008.
MLA	单耀莹,et al."熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究".中国激光 40.4(2013):402008.