铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究

	铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究
	公发全; 李刚; 谭艳楠; 张敏; 周徐阳; 牟宗信; 刘万发; 董闯
刊名	真空科学与技术学报
	2015-12-16
卷号	35 期号:0 页码:984
通讯作者	公发全
产权排序	1
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/147964]
专题	大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所
作者单位	大连化学物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	公发全,李刚,谭艳楠,等. 铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究[J]. 真空科学与技术学报,2015,35(0):984.
APA	公发全.,李刚.,谭艳楠.,张敏.,周徐阳.,...&董闯.(2015).铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究.真空科学与技术学报,35(0),984.
MLA	公发全,et al."铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究".真空科学与技术学报 35.0(2015):984.