一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术

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	一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术
	王伟 ; 周常河
刊名	中国激光
	2009-11
卷号	36 期号:11 页码:2869-2872
关键词	光学制造微透镜阵列光刻胶热熔法软刻蚀压印技术 optical fabrication microlens array thermal reflow soft lithography imprint technology
通讯作者	王伟
合作状况	其它
中文摘要	提出了一种利用软模压印制备微透镜阵列的技术。采用传统的光刻胶热熔方法制备微透镜阵列母板,利用复制模具的方法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上得到一个和母板表面图形相反的模具,最后通过压印的方法把PDMS模具上的图形转移到涂有紫外固化胶的玻璃基片上,待紫外胶完全固化后可得到和母板一致的微透镜阵列。经过测试微透镜阵列的焦点图像和表面形貌可发现最后制备的微透镜阵列表面形貌均匀、聚焦性能良好、光强均匀。
学科主题	光电子技术
收录类别	其他
资助信息	国家自然科学基金(60878035)和国家973计划(2006CB80600)资助课题
语种	中文
公开日期	2010-05-14
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6839]
专题	上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	王伟,周常河. 一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术[J]. 中国激光,2009,36(11):2869-2872.
APA	王伟,&周常河.(2009).一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术.中国激光,36(11),2869-2872.
MLA	王伟,et al."一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术".中国激光 36.11(2009):2869-2872.