| 题名 | InP基雪崩光电二极管结构设计与关键工艺研究 |
| 作者 | 李慧梅 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2016-05-30 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 陈良惠 ; 宋国峰 |
| 关键词 | InGaAs/InP APD InGaAs/InAlAs APD 增益 暗电流 击穿电压 扩散Zn掺杂 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2016-06-02 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27157]  |
| 专题 | 半导体研究所_纳米光电子实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李慧梅. InP基雪崩光电二极管结构设计与关键工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
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