题名 | 硅基锗材料的异质外延及高效发光器件研制 |
作者 | 何超 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2016-05-31 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 成步文 |
关键词 | Si 基发光器件 Ge/Si 量子点 Ge/SiGe 量子阱 Ge 薄膜 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
学科主题 | 半导体材料 ; 半导体器件 ; 光电子学 |
公开日期 | 2016-06-02 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27158] |
专题 | 半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 何超. 硅基锗材料的异质外延及高效发光器件研制[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
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